MEMSセンサー

小型化・省電力・高ノイズ耐性を同時に実現 
 MEMSは、Micro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の略で、3次元微細構造の機構部品と電子回路を半導体プロセス技術を用いて集積化したデバイスです。MEMSセンサーに要求されることは、小型化・省電力化を含めた優れた特性と実装時のコスト低減ですが、特に携帯機器においては、低消費電力化が最優先課題となっています。
 H&Tテクノロジーでは、感度特性に優れたピエゾ抵抗型センサーの開発に取り組んできた結果、新たな構造を採用することによって、既存のセンサーの弱点である歪みの影響を最小化するとともに、大幅な小型化を実現する技術を確立することができました。また、検出データの変換のためのASICの開発においても、新たなアーキテクチャーの開発により、従来品よりも低消費電流で動作することを確認いたしました。
 当社は、このMEMSセンサーとASICを一体化し、様々な機器に速やかに実装可能な小型・省電力の加速度センサーを製品化してまいります。

 【製品ラインナップ】