MEMS是 Micro Electro Mechanical Systems（微电子机械系统）的省略语。是一种集三维细微结构机械部件和电子电路半导体工艺技术于一体的设备，MEMS传感器要求具有小型化和节能以及在安装时降低成本的优异特性，真正扩大市场和提高传感器性能是从现在开始，特别是在设备方面，低功耗是当前首要研究课题。

我们一直致力于开发具有高灵敏度特性的压阻式传感器，并采用新技术结构，可以最大限度地减少某些失真的影响，这是现有传感器的一个弱点，同时实现了实质性的小型化。此外，在开发用于转换检测数据的ASIC时，我们已确认，新的开发体系结构可在低于传统产品的使用消费电流来运行。

我公司将MEMS传感器和ASIC合成一体化产品，可以快速安装在各种设备上的具有体积小，节能的加速度传感器产品。

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◆ MEMS加速传感器 同时实现小型化/低耗能/抗干扰性强的特点/

小型精湛的电阻是传感器

    ■  X軸与Z軸的共有化（专利申请中）

    ■  新抗应力结构（根据热的程度应力缓和） 

高速・高精度与模拟数字变换相关的IC电路技术

    ■  节省电能和高抗干扰性同时达

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◆ 产品介绍